直線電機平臺
產品簡介
直線電機平臺采用直線電機作為驅動單元，精密導軌作為導向支撐，并利用光柵尺作為位置回饋，可直接組合高性能平臺。在高速，高推力，高精度，大行程應用中非常廣泛。
產品詳細信息
直線電機直接驅動的平臺系統，以其快速的響應、正確的定位和高可靠性而廣泛應用于高速自動化設備、精密測量系統、電子與半導體加工設備、激光加工設備等領域。
產品特點： ◆直線電機驅動、光柵反饋、全閉環控制
◆響應快
◆定位、重復精度高
◆適合精密檢測與控制
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