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產(chǎn)品資料

中山潔凈烘箱

中山潔凈烘箱
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:中山潔凈烘箱
  • 產(chǎn)品型號:PVC
  • 產(chǎn)品展商:Lab Companion 宏展
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
中山潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
產(chǎn)品描述

中山潔凈烘箱

 

中山潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCDCMOSIS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 

一.中山潔凈烘箱用途:
PVC
無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCDCMOSIS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

 

二.中山潔凈烘箱特點(diǎn):
1.
在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100
2.
全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.
采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
4.
強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*佳溫度控制精度。

三.中山潔凈烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):

1.主要技術(shù)指標(biāo):
   
無塵等級:Class 100;                   溫度范圍: 60 +300℃;
 
  溫度均勻度:200℃±4;             溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   
溫控精度:±0.1;                        工作尺寸:W800×D600×H1300         
  
 電源:380v , 50Hz15KW         網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA
過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風(fēng)速距離。
M計(jì)裝可編程控制
1
模式20步驟,*多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過升防止器。 

 

型號 

溫度范圍

內(nèi)容積

其它參數(shù)

內(nèi)尺寸
W×H×Dmm

外尺寸
W×H×Dmm

PVC-178

(RT+60)+200

178L

潔凈度:100

580×530×580

770×1,280×1,025

PVC-380

(RT+60)+200

380L

潔凈度:100

580×1130×580

770×1,880×1,025

PVC-678

(RT+60)+200

678L

潔凈度:100

800×1130×750

1,030×1,880×1,025

PVHC-178

(RT+60)+350

178L

潔凈度:100

580×530×580

770×1,280×1,025

PVHC-380

(RT+60)+350

380L

潔凈度:100

580×1,130×580

770×1,880×1,025

PVHC-678

(RT+60)+350

678L

潔凈度:100

800×1,130×750

1030×1,880×1,210

PVHC-347MS

(RT+60)+300

347L

潔凈度:100

580×1,130×530

770×1,880×1,025

PVHC-633MS

(RT+60+300

633L

潔凈度:100

800×1,130×700

1,030×1,880×1,210

 

2、箱體結(jié)構(gòu):
  
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
   箱體材料:外箱采用SUS304 1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
   內(nèi)膽材料:采用上等SUS3042.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE
 
  中桶材料:采用上等SUS3042.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)

3、溫控系統(tǒng):
  
采用臺灣“宣榮”CAHO溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定,**度±0.3%FS。;
  
訊號來源:采用PT100熱電阻±0.5%
  
輸出被控制組件:SSR無接點(diǎn)訊號輸出。

4、完善的**保護(hù)措施:
漏電斷路器、     控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過電流保護(hù)、 機(jī)臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面**開關(guān)

5、選購設(shè)備(需另外收費(fèi))
   
可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

 

:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。   

 


      宏展科技擁有一個(gè)專業(yè)從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備研發(fā)的科研機(jī)構(gòu),具備成熟的環(huán)試研制手段與試驗(yàn)室,聚集了行業(yè)內(nèi)一批優(yōu)良的各類人才和知名專家,強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)**著國內(nèi)環(huán)試技術(shù)發(fā)展方向.現(xiàn)目前公司具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱快速溫度變化試驗(yàn)箱冷熱沖擊試驗(yàn)箱、三綜合試驗(yàn)箱、高低溫低氣壓試驗(yàn)箱太陽輻射試驗(yàn)箱、工業(yè)烤箱以及步入式高低溫濕熱試驗(yàn)箱和高風(fēng)速淋雨試驗(yàn)箱等氣候環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備及訂制產(chǎn)品處于國內(nèi)**、國際高水準(zhǔn)。 


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